Inpria, ein Pionier auf dem Gebiet hochauflösender Metalloxid-Fotolacke für die Extrem-Ultraviolett-Lithographie (EUV), gab heute bekannt, dass das Unternehmen eine Finanzierung in Höhe von 31 Millionen Dollar für die Serie C von einem breiten Konsortium erhalten hat, das führende Vertreter aus dem gesamten Ökosystem der Halbleiterherstellung vertritt. Diese Finanzierung wurde von dem Fotolackhersteller und bestehenden Investor, der JSR Corporation, geleitet. Zu den neuen Investoren gehörten SK hynix Inc. und TSMC Partners. Die Runde umfasste auch die Beteiligung der bestehenden Investoren Air Liquide Venture Capital ALIAD, Applied Ventures, Intel Capital und Samsung Venture Investment Corporation.
„Inpria ist weltweit führend bei Metalloxid-Fotolacken für den fortgeschrittenen EUV-Lithografieprozess“, sagte Mark Slezak, Präsident von JSR Micro und neuer Vorstandsvorsitzender von Inpria. „Wir freuen uns, unsere Partnerschaft mit Inpria zu erweitern, während wir mit ihnen im Hinblick auf Qualität und allgemeiner Marktakzeptanz zusammenarbeiten.“
Die aus Zinnoxid-Nanoclustern bestehenden Inpria-Fotolacke liefern eine höhere Auflösung mit Bauteilen, die nur einen Bruchteil der Größe herkömmlicher Lacke auf Polymerbasis haben und auf die optimale Absorption von EUV-Photonen abgestimmt sind. Mit einer beispiellosen Ätzselektivität ermöglichen Inpria-Fotolacke einfachere Fertigungsabläufe und größere Prozessfenster für eine allgemeine Senkung der Betriebskosten. Inpria hat vor kurzem seine Produktionsanlage für große Mengen in Betrieb genommen, um die anfängliche Produktionsanlaufphase für Kunden zu begleiten.
„Wir glauben, dass unsere Beteiligung als Investor ein Indikator für die strategische Bedeutung von Inpria für die Halbleiterindustrie ist. Wir freuen uns, dass unsere Investorenbasis nun alle Halbleiterhersteller weltweit umfasst, die derzeit die EUV-Musterung übernehmen. Diese Errungenschaft wird durch die starke Beteiligung von Investoren aus den Bereichen Fotolacke, Ausstattung und Industriechemikalien ergänzt“, fügte Andrew Grenville, CEO von Inpria, hinzu. „Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit unseren globalen Partnern, um der Industrie eine bahnbrechende EUV-Fotolack-Plattform zu bieten.“
Über Inpria
Die Inpria Corporation ist weltweit führend im Design, der Entwicklung und der Herstellung von Metalloxid-Fotolacken. Die EUV-Fotolacke von Inpria ermöglichen es Halbleiterherstellern, das volle Potenzial der EUV-Lithografie auszuschöpfen. Erfahren Sie mehr unter www.inpria.com.
Über die JSR Corporation
Die JSR Corporation ist ein multinationales Unternehmen, das weltweit mehr als 9.000 Mitarbeiter beschäftigt und ein führender Materiallieferant in einer Vielzahl von technologieorientierten Märkten ist. Das globale Netzwerk von JSR hat seinen Hauptsitz in Tokio (Japan) und verfügt über Fabriken und Büros in Europa, den USA, China, Taiwan, Korea, Singapur und Thailand. JSR ist eine forschungsorientierte Organisation, die eine enge Zusammenarbeit mit führenden Innovationsträgern in einer Reihe von Branchen anstrebt, die einen wichtigen Beitrag zum gegenwärtigen und zukünftigen Wohlergehen der menschlichen Gesellschaft leisten: Biowissenschaften, Energiespeicherung, synthetische Kautschuke, elektronische Materialien, Gegenstände für die Anzeige und Edge-Computing. Weitere Informationen über die JSR Corporation finden Sie unter www.jsr.co.jp.
Über SK hynix Inc.
www.skhynix.com
Über ALIAD
www.airliquide.com/connected-innovation/aliad-venture-capital
Über Applied Ventures
www.appliedventures.com oder folgen Sie @Applied_VC
Über Intel Capital
www.intelcapital.com oder folgen Sie @Intelcapital
Über Samsung Venture Investment Corporation
www.samsungventure.co.kr
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