JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (www.jeol.com) (Präsident und COO Izumi Oi) gibt die Markteinführung des neuen Schottky Feldemissions-Rasterelektronenmikroskops JSM-F100 im August 2019 bekannt.
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JSM-F100 (Photo: Business Wire)
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Hintergrund
Rasterelektronenmikroskope (Scanning Electron Microscopes, SEMs) werden in verschiedenen Bereichen eingesetzt: Nanotechnologie, Metalle, Halbleiter, Keramik, Medizin und Biologie. Mit der Anwendungserweiterung sind SEM-Anwender auf der Suche nach einer schnellen und qualitativ hochwertigen Datenerfassung und einer einfachen Bestätigung von zusammengesetzten Informationen bei reibungslosem Betrieb.
Das JSM-F100 beinhaltet unsere bewährte In-Lens Schottky Plus FE Elektronenkanone und „Neo Engine“ (elektronenoptisches Steuerungssystem) sowie ein neues GUI „SEM Center“ und einen innovativen „LIVE-KI- (Live Image Visual Enhancer–Künstliche Intelligenz) Filter“. Dies ermöglicht eine optimale Kombination aus hochauflösender Bildgebung und Bedienbarkeit. Darüber hinaus ist ein Standard JEOL energiedispersives Röntgenspektrometer (EDS) vollständig in das „SEM Center“ integriert, um eine nahtlose Erfassung von Bildern und Elementaranalyse-Ergebnissen zu ermöglichen. Das JSM-F100 erreicht eine hervorragende Arbeitseffizienz, 50 % oder höher als die unserer vorherigen JSM-7000-Serie, wodurch ein drastisch gesteigerter hoher Durchsatz erzielt wird.
Eigenschaften
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In-lense Schottky Plus FE Elektronenkanone
Die verbesserte Integration der Elektronenkanone und die Kondensorlinse mit geringer Abweichung sorgen für mehr Helligkeit. Der große Sondenstrom bei niedriger Beschleunigungsspannung unterstützt verschiedene Funktionen, von der hochauflösenden Bildgebung bis hin zur schnellen Elementaranalyse. -
Hybridlinse (HL)
Die Hybridlinse (HL), eine Kombination aus elektrostatischer und Magnetfeldlinse, unterstützt die hochauflösende Bildgebung und Analyse verschiedener Proben. -
Neo Engine (New Electron Optical Engine)
Neo Engine, ein hochmodernes elektronenoptisches Steuerungssystem, verbessert die Präzision der automatischen Funktionen und die Bedienbarkeit erheblich. -
Neue Funktion des „SEM Centers“
Die neue Bedienoberfläche GUI „SEM Center“ integriert vollständig SEM-Bildgebung und EDS-Analyse und bietet die nächste Generation von Bedienbarkeit und hochauflösenden Bildern, die mit FE-SEM erhalten wurden. -
Die neue „Zeromag“-Funktion
„Zeromag“ ist für den nahtlosen Übergang von der optischen zur REM-Aufnahme integriert und erleichtert die Lokalisierung des Zielprobenbereichs. -
Neuer LIVE-KI-Filter*
Durch die Nutzung der KI (künstliche Intelligenz)-Funktion ist der LIVE-KI-Filter für eine höhere Qualität der Livebilder integriert. Im Gegensatz zur Bildintegrationsverarbeitung zeigt dieser neue Filter ein nahtlos bewegliches Livebild ohne Restbild und ist sehr effektiv für die schnelle Suche nach Beobachtungsbereichen, Fokussierung und Stigmatoreinstellung.
*optional
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Technische Daten |
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Auflösung (1 kV) |
1,3 nm |
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Auflösung (20 kV) |
0,9 nm |
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Beschleunigungsspannung |
0,01 bis 30 kV |
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Standarddetektoren |
Oberer Elektronendetektor (UED), Sekundärer Elektronendetektor (SED) |
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Elektronenkanone |
In-lense Schottky Plus FE Elektronenkanone |
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Sondenstrom |
Einige pA bis 300 nA(30 kV) |
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Objektivlinse |
Hybridobjektiv (HL) |
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Probenphase |
Vollständig euzentrischer Goniometer-Tisch |
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Bewegung der Probe |
X: 70 mm, Y: 50 mm, Z: 2 bis 41 mm |
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EDS-Detektor |
Energieauflösung: 133 eV oder weniger |
Jährliches Absatzziel
60 Einheiten/Jahr
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japan
Izumi Oi, Präsident und COO
(Börsenkürzel: 6951, Tokyo Stock Exchange First Section)
www.jeol.com
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